Kaverin, M. V., і B. Zhollybekov. «Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N». Журнал фізики та інженерії поверхні 11, no. 3 (Липень 21, 2017): 263 - 269. дата звернення Листопад 22, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757.