Зыков, А. В., С. В. Дудин, і С. Д. Яковин. «Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления». Журнал фізики та інженерії поверхні 13, no. 2 (Грудень 4, 2015): 264 -. дата звернення Листопад 24, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571.