Зыков, А. В., С. В. Дудин, and С. Д. Яковин. “Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления”. Journal of Surface Physics and Engineering 13, no. 2 (December 4, 2015): 264 -. Accessed December 16, 2025. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571.