Гордиенко, Ю. Е., М. И. Пятайкина, and А. В. Полищук. “СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники”. Journal of Surface Physics and Engineering 13, no. 2 (December 4, 2015): 209 -. Accessed August 16, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564.