Яковін, С. Д., О. В. Зиков, С. В. Дудін, В. І. Фаренік, and М. М. Юнаков. “Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів”. Journal of Surface Physics and Engineering 12, no. 3 (June 22, 2015): 428 - 439. Accessed December 16, 2025. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863.