Яковін, С. Д., О. В. Зиков, С. В. Дудін, В. І. Фаренік, і М. М. Юнаков. «Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів». Журнал фізики та інженерії поверхні 12, no. 3 (Червень 22, 2015): 428 - 439. дата звернення Листопад 21, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863.