Буранич, В., И. Шелест, А. Гончаров, А. Юнда, і С. Гончарова. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні 3, no. 3 (Вересень 18, 2019): 89 - 99. Accessed Липень 14, 2020. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.