Буранич, В. В., И. В. Шелест, А. А. Гончаров, А. Н. Юнда, і С. А. Гончарова. «Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення». Журнал фізики та інженерії поверхні 3, no. 3 (Вересень 18, 2019): 89 - 99. дата звернення Листопад 21, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.