Зыков, А. В., С. В. Дудин, and С. Д. Яковин. “Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления”. Journal of Surface Physics and Engineering, Vol. 13, no. 2, Dec. 2015, pp. 264 -, https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571.