Буранич, В. В., И. В. Шелест, А. А. Гончаров, А. Н. Юнда, і С. А. Гончарова. «Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення». Журнал фізики та інженерії поверхні, вип. 3, вип. 3, Вересень 2019, с. 89 -9, https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.