Буранич, В., И. Шелест, А. Гончаров, А. Юнда, і С. Гончарова. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні, Vol 3, no 3, Sept. 2019, pp 89 -9, https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.