В. А. Белоус, В. М. Лунёв, Г. И. Носов, А. С. Куприн, Г. Н. Толмачёва, and И. В. Колодий, “Synthesis of TiSiN coatings by simultaneous sputtering of Ti and Si targets in nitrogen-argon plasma”, ЖФІП, vol. 11, no. 4, pp. 412 - 419, Jul. 2017.