[1]
В. А. Белоус, В. М. Лунёв, Г. И. Носов, А. С. Куприн, Г. Н. Толмачёва, і И. В. Колодий, «Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі», ЖФІП, вип. 11, вип. 4, с. 412 - 419, Лип 2017.