[1]
А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, і В. Е. Стрельницкий, «Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті», ЖФІП, вип. 1, вип. 4, с. 338-345, Квіт 2017.