[1]
С. Д. Яковін, О. В. Зиков, С. В. Дудін, В. І. Фаренік, і М. М. Юнаков, «Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів», ЖФІП, вип. 12, вип. 3, с. 428 - 439, Чер 2015.