В. В. Буранич, И. В. Шелест, А. А. Гончаров, А. Н. Юнда, і С. А. Гончарова, «Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення», ЖФІП, вип. 3, вип. 3, с. 89 - 99, Вер 2019.