[1]
А. И. Бажин, А. Н. Троцан, С. В. Чертопалов, А. А. Стипаненко, і В. А. Ступак, «Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO», ЖФІП, вип. 10, вип. 4, с. 342 - 349, Жов 2012.