Kaverin, M. V. і Zhollybekov, B. (2017) «Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N», Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), с. 263 - 269. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757 (дата звернення: 22Листопад2024).