Зыков, А. В., Дудин, С. В. and Яковин, С. Д. (2015) “Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления”, Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), pp. 264 -. Available at: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571 (Accessed: 19May2024).