Зыков, А. В., Дудин, С. В. і Яковин, С. Д. (2015) «Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления», Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(2), с. 264 -. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571 (дата звернення: 24Листопад2024).