Гордиенко, Ю. Е., Пятайкина, М. И. and Полищук, А. В. (2015) “СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники”, Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), pp. 209 -. Available at: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564 (Accessed: 16December2025).