Яковін, С. Д., Зиков, О. В., Дудін, С. В., Фаренік, В. І. і Юнаков, М. М. (2015) «Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів», Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(3), с. 428 - 439. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863 (дата звернення: 21Листопад2024).