Яковін, С. Д., Зиков, О. В., Дудін, С. В., Фаренік, В. І. and Юнаков, М. М. (2015) “Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів”, Journal of Surface Physics and Engineering, 12(3), pp. 428 - 439. Available at: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863 (Accessed: 17September2026).