Буранич, В. В., Шелест, И. В., Гончаров, А. А., Юнда, А. Н. і Гончарова, С. А. (2019) «Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення», Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(3), с. 89 - 99. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193 (дата звернення: 27Квітень2024).