Буранич, В., Шелест, И., Гончаров, А., Юнда, А. і Гончарова, С. (2019) Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення, Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(3), pp 89 - 99. Available at: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193 (Accessed: 14Липень2020).