Хайдаров, З. (2019) «Нерівноважні процеси на контакті напівпровідник - плазма газового розряду», Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(2), с. 72 -. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/13669 (дата звернення: 23Листопад2024).