1. Белоус В.А., Лунёв В.М., Носов Г.И., Куприн А.С., Толмачёва Г.Н., Колодий И.В. Synthesis of TiSiN coatings by simultaneous sputtering of Ti and Si targets in nitrogen-argon plasma // Journal of Surface Physics and Engineering. 2017. № 4 (11). C. 412 - 419.