Буранич, В., И. Шелест, А. Гончаров, А. Юнда, і С. Гончарова. 2019. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні 3 (3), 89 - 99. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193.