БЕЛОУС, В. А.; ЛУНЁВ, В. М.; НОСОВ, Г. И.; КУПРИН, А. С.; ТОЛМАЧЁВА, Г. Н.; КОЛОДИЙ, И. В. Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. Журнал фізики та інженерії поверхні, v. 11, n. 4, p. 412 - 419, 28 Лип 2017.