ГОРДИЕНКО, Ю. Е.; ПЯТАЙКИНА, М. И.; ПОЛИЩУК, А. В. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. Journal of Surface Physics and Engineering, v. 13, n. 2, p. 209 -, 4 Dec. 2015.