ЯКОВІН, С. Д.; ЗИКОВ, О. В.; ДУДІН, С. В.; ФАРЕНІК, В. І.; ЮНАКОВ, М. М. Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів. Журнал фізики та інженерії поверхні, v. 12, n. 3, p. 428 - 439, 22 Чер 2015.