БУРАНИЧ, В. В.; ШЕЛЕСТ, И. В.; ГОНЧАРОВ, А. А.; ЮНДА, А. Н.; ГОНЧАРОВА, С. А. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні, v. 3, n. 3, p. 89 - 99, 18 Вер 2019.