БУРАНИЧ, В.; ШЕЛЕСТ, И.; ГОНЧАРОВ, А.; ЮНДА, А.; ГОНЧАРОВА, С. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні, v. 3, n. 3, p. 89 - 99, 18 set. 2019.