Белоус, В. А., Лунёв, В. М., Носов, Г. И., Куприн, А. С., Толмачёва, Г. Н., & Колодий, И. В. (2017). Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 412 - 419. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948