Kaverin, M. V., & Zhollybekov, B. (2017). Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(3), 263 - 269. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757