Калиниченко, А. И., Перепёлкин, С. С., & Стрельницкий, В. Е. (2017). Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті. Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(4), 338-345. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8351