Зыков, А. В., Дудин, С. В., & Яковин, С. Д. (2015). Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(2), 264 -. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571