Гордиенко, Ю. Е., Пятайкина, М. И., & Полищук, А. В. (2015). СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), 209 -. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564