Яковін, С. Д., Зиков, О. В., Дудін, С. В., Фаренік, В. І., & Юнаков, М. М. (2015). Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 12(3), 428 - 439. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863