Буранич, В. В., Шелест, И. В., Гончаров, А. А., Юнда, А. Н., & Гончарова, С. А. (2019). Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(3), 89 - 99. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193