Буранич, В., Шелест, И., Гончаров, А., Юнда, А., & Гончарова, С. (2019). Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(3), 89 - 99. Retrieved із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193