Бажин, А. И., Троцан, А. Н., Чертопалов, С. В., Стипаненко, А. А., & Ступак, В. А. (2012). Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. Журнал фізики та інженерії поверхні, 10(4), 342 - 349. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10074