Белоус, В. А.; Лунёв, В. М.; Носов, Г. И.; Куприн, А. С.; Толмачёва, Г. Н.; Колодий, И. В. Synthesis of TiSiN Coatings by Simultaneous Sputtering of Ti and Si Targets in Nitrogen-Argon Plasma. ЖФІП 2017, 11, 412 - 419.