(1)
Белоус, В. А.; Лунёв, В. М.; Носов, Г. И.; Куприн, А. С.; Толмачёва, Г. Н.; Колодий, И. В. Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. ЖФІП 2017, 11, 412 - 419.