Бажин, А. И.; Троцан, А. Н.; Чертопалов, С. В.; Стипаненко, А. А.; Ступак, В. А. Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. ЖФІП 2012, 10, 342 - 349.