[1]
Белоус, В.А., Лунёв, В.М., Носов, Г.И., Куприн, А.С., Толмачёва, Г.Н. і Колодий, И.В. 2017. Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. Журнал фізики та інженерії поверхні. 11, 4 (Лип 2017), 412 - 419.