[1]
Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С. і Стрельницкий, В.Е. 2017. Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті. Журнал фізики та інженерії поверхні. 1, 4 (Квіт 2017), 338-345.