[1]
Гордиенко, Ю.Е., Пятайкина, М.И. і Полищук, А.В. 2015. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. Журнал фізики та інженерії поверхні. 13, 2 (Груд 2015), 209 -.