[1]
Буранич, В., Шелест, И., Гончаров, А., Юнда, А. і Гончарова, С. 2019. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні. 3, 3 (Вер 2019), 89 - 99.