[1]
Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н. і Гончарова, С.А. 2019. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. Журнал фізики та інженерії поверхні. 3, 3 (Вер 2019), 89 - 99.