[1]
Бажин, А.И., Троцан, А.Н., Чертопалов, С.В., Стипаненко, А.А. і Ступак, В.А. 2012. Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. Журнал фізики та інженерії поверхні. 10, 4 (Жов 2012), 342 - 349.