TY - JOUR AU - Агулов, А. В. AU - Гончаров, А. А. AU - Бажин, А. И. AU - Васильева, Л. В. AU - Гончарова, С. А. AU - Ступак, В. А. PY - 2015/06/22 Y2 - 2024/03/28 TI - Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений JF - Журнал фізики та інженерії поверхні JA - ЖФІП VL - 12 IS - 3 SE - Статті DO - UR - https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2854 SP - 338 - 356 AB - Проведений аналіз формування плівкових покриттів на основі нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від умов синтезу. Виявлені загальні закономірності синтезу тон­ких плівок даного класу з’єднань - формування аксіальної текстури і стовпчастої структури. Проведений аналіз фізико-механічних характеристик нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від їх структурного стану. Показана залежність отримуваної структури від умов осадження покриттів, а також взаємозв’язок між структурою покриття і його фізико-механічними характеристиками. ER -