@article{Гончаров_Юнда_Зыков_Фареник_Шелест_Буранич_2017, title={Аналіз умов синтезу надтвердих плівок дибориду танталу у магнетронних розпилювальних системах}, volume={2}, url={https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9573}, abstractNote={<p>У даній роботі проведено дослідження параметрів синтезу тонких плівок дибориду танталу, отриманих в системах ВЧ і ПТ-магнетронного розпилення. Зроблено порівняльний аналіз енергетичних умов синтезу цих плівок. Показано, що в залежності від методу, використовуваного для отримання плівки (ВЧ або ПТ), істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, які беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки, що призводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного з текстурою зростання перпендикулярною площині (00.1).</p><p> </p&gt;}, number={2-3}, journal={Журнал фізики та інженерії поверхні}, author={Гончаров, А. А. and Юнда, А. Н. and Зыков, А. В. and Фареник, В. И. and Шелест, И. В. and Буранич, В. В.}, year={2017}, month={Лис}, pages={105- 114} }