INTRINSIC STRESSES IN COATINGS DEPOSITED AT PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 25, Березень 2015 [цит. за 24, Жовтень 2026];1(4):57-63. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/1504