Стехіометрична еволюція багатофазних нітридів вольфраму за змінного потоку газу та впливу додаткової плазми під час магнетронного розпилення. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 07, Вересень 2026 [цит. за 25, Жовтень 2026];(3):681-8. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/30271