Оптимізація вакуумної термічної випарувальної системи для осадження тонких плівок Bi–Sb–Te. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 14, Березень 2026 [цит. за 25, Жовтень 2026];(1):302-7. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/27476