Вплив параметрів радіочастотного магнетронного розпилення на структуру та характеристики тонких плівок Al та Al2O3. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 08, Вересень 2025 [цит. за 25, Жовтень 2026];(3):505-11. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26571