Вплив матеріалів оксиду затвору та оксиду зворотного шару на ефект саморозігріву у FinFET. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 08, Вересень 2025 [цит. за 25, Жовтень 2026];(3):253-36. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26421