Структурні характеристики та оптичні властивості тонких плівок SiC, отриманих методом RF-PVD. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 09, Червень 2025 [цит. за 25, Жовтень 2026];(2):330-4. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26381