Вакуумно-дугові багатошарові покриття (TiZrSiY)N/NbN: будова та властивості залежно від тривалості осадження шарів, що чергуються. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 02, Грудень 2023 [цит. за 25, Жовтень 2026];(4):347-54. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/22643