Вплив плазмової активації реактивного газу при реактивному магнетронному розпиленні. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 04, Вересень 2023 [цит. за 24, Жовтень 2026];(3):606-12. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/22255