Проблеми маскуючого та просвітляючого SіO2 в кремнієвій технології. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 02, Червень 2023 [цит. за 25, Жовтень 2026];(2):289-95. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/21646